超细微粉技术在微电子行业中的应用

超细微粉应用于微电子工业的典型代表有电子浆料、磁记录材料以及电子陶瓷粉料。电子浆料是微电子领域必不可少的电极材料，它被敷于导电体、介电体和绝缘体的表面。用于导电浆的导电性粉末有Au、Pt、PdAg、Cu、Ni 等；用于介电浆的粉末有BaTi03、TiO2等；用于电阻浆的粉末有RuO2、MoO3、LaB6、C 等。我国虽有数家单位进行电子浆料的研究生产，但是远不能满足要求，每年需进口一定数时的电子浆料。电子浆料是未来超细微粉重要的应用市场之一。
       磁记录材料主要是用于录音带、录像带的超细针状Fe2O3磁粉的开发应用。研究表明，超细磁粉制作的录音带、录像带比普通磁带的记录密度高10倍。国内已有这方面的开发工作，有的中试性能指标优于日本TDK 的水平。用气流粉碎面制备永磁合金超细粉的工作也在进行中。
       电子陶瓷的超细超纯粉料是我国重点开发的超细粉体项目之一。其中BaTiO3作为PTC 热敏电阻以及陶瓷电容器的主要原料而备受注注目。利用化学共沉淀生产BaTiO3超细粉已经在数家单位形成中试规模，然而，由于生产工艺仍然是人工、间歇式的，使浆体性能波动较大，产品性能不能令人满意。随着研究的深入、工艺设备的优化、PTC 应用领域的扩大以及陶瓷电容需求量持续增长，BaTiO3超细粉体的市场前景是非常广阔的。
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